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焦磷酸质子交换波导工艺研究
【作者】 唐杰； 梁东波； 矶守； 陈林； 袁一方； 陈抱雪；
【机构】 上海理工大学光学与电子信息工程学院； 日本东京农工大学工学院应用化学系；
【摘要】 采用焦磷酸质子交换技术制备LiNbO3光波导,总结了交换条件、退火工艺和实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件.测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,开发了循环迭代法拟合折射率分布.结果显示退火前后的折射率分别呈近似阶梯和近似指数的分布,均可用费米函数良好地描述.
- 【会议录名称】 全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议（OFCIO’2001）论文集
- 【会议名称】全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议（OFCIO’2001）
- 【会议时间】2001-10
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TN814
- 【主办单位】中国电子学会通信学分会、中国通信学会光通信专业委员会、中国光学学会纤维光学与集成光学专业委员会