硅芯片技术的过去和未来

【作者】 许居衍； 李炳宗； 汤庭鳌；

【机构】 华晶中央研究所； 复旦大学；

【摘要】 <正> 今年是集成电路(IC)发明40周年,我国集成电路诞生33周年。IC是1947年晶体管发明的逻辑性必然发展,是固体电子学和数字化技术发展的重要里程碑。1958年9月12日美国德克萨斯仪器公司工程师J.Kilby研制成功世界上第一个锗集成电路,当时被命名为固态电路。1961年,美国仙童公司研制成功单片硅集成电路,尽管只集成了8个元件,但从此打开了IC工业的道路。4年后我国于1965年也研制成功内含12个元件的单片硅集成电路。集成电路成了本世纪发展最快、影响最深远的技术,成了现代经济的主要支柱产业之一。目前人们普遍使用的微处理器芯片上集成达数百万个晶体管,而高密度半导体存储器则由数亿元件构成。40年来集成电路技术经历了持续和迅速不断创新的独特发展道路。更多还原