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敏感层100μm硅探测器的研制
【作者】 田大宇； 宁宝俊； 马连荣； 孟宪馨； 邓珂； 王玮； 罗葵； 张录； 陈鸿飞； 邹积清； 施伟红； 邹鸿；
【机构】 北京大学微电子学研究院； 北京大学空间物理与应用技术研究所；
【摘要】 简单介绍了微机械工艺硅薄层探测器的制备过程,对Φ12mm、敏感层100μm的硅PTN探测器进行了测试,包括PIN结全耗尽电压、噪声、能量分辩,漏电流等,并与ORTEC公司同类产品进行了比较,证明该探测器接近或达到国外同类产品的水平。
- 【会议录名称】 中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议论文集（下册）
- 【会议名称】中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议
- 【会议时间】2005-10
- 【会议地点】中国重庆、中国湖北宜昌
- 【分类号】P111.49
- 【主办单位】中国空间科学学会空间探测专业委员会