新型空间带电粒子探测器的研制

【作者】 谭继廉； 靳根明； 段利敏； 王宏伟； 袁小华； 卢子伟； 张金霞； 鲍志勒； 王柱生； 李存璠； 宁宝俊； 田大宇； 王玮； 张录； 高萍； 王月； 王世金； 朱光武； 梁金宝；

【机构】 中国科学院近代物理研究所； 北京大学微电子所； 北京大学微电子所北京100871； 中国科学院空间科学与应用研究中心；

【摘要】 描述了用平面工艺+离子注入技术制备新型空间带电粒子探测器的工艺技术及器件的特性。探测器的厚度为100μm,300μm,4.50μm和1000μm,灵敏面积为Φ8和Φ12mm等不同规格。在全耗尽偏压下,得到典型的反向漏电流范围为0.57-10.11nA,典型的能量分辨率为0.69%-0.86% (对241Am α粒子)。在60℃高温下,器件的性能变化在空间应用的允许范围之内。更多还原