【作者】 郑丹； 田娟； 张熙贵； 夏保佳；

【Author】 Zheng Dan Tian Juan Zhang Xigui XiaBaojia (Shanghai Institute of Technology, 200233; Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, 200050;Harbin Engineering University 150001)

【机构】 上海应用技术学院； 哈尔滨工程大学；

【摘要】 <正>多孔硅(porous silicon,PS)材料由于具有高效率的发光特性被认为有着巨大的应用前景而被广泛研究。近几年来随着微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)的发展,PS的一个新的应用领域展现在人们面前,即可作为μPEMFC功能结构材科,如作为扩散层、催化层、质子交换层及重整器等。扩散层是燃料电池膜电极的重要组成部分,其作用在于支撑催化层,增大催化剂有效利用面积,并为电化学反应提供气体(或液体)通道和排水通道。以PS代替碳布作为扩散层是实现燃料电池微型化的有效途径之一。制备PS的方法有多种,目前,电化学腐蚀方法是其中比较常用的一种,即把硅片置于HF溶液中通以电更多还原