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激光刻蚀成模快速制作PDMS微流控芯片
Fast Fabrication of PDMS Microfluidic Chip by Replica Molding of LASER Ablated Model
【Author】 FENG Bo, MEI Lin, CHENG Zhengxue, ZHANG Rong, XIA Zhining
【机构】 重庆大学化学化工学院; 重庆市光学机械研究所;
【摘要】 <正>近年来基于激光刻蚀的精细加工技术和微加工技术发展很快,国外的研究者利用激光在硅、石英、玻璃、聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethylmethacrylate,PMMA)等材料上加工出微槽或者微通道 ,制得了满足分析目的的微流控芯片。激光以直接写入的方式与材料作用制作芯片,无须光刻掩模, 具有快速、低成本的优点。在报道使用的材料中,硅、石英等价格昂贵;刻蚀玻璃,后续的芯片键
【基金】 国家自然科学基金(No.20375051)
- 【会议录名称】 第三届全国微全分析系统学术会议论文集
- 【会议名称】第三届全国微全分析系统学术会议
- 【会议时间】2005-10
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TN405
- 【主办单位】中国化学会、国家自然科学基金委化学部