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一种玻璃微流控芯片的制作方法研究
A Novel Microfabrication Technique for Glass Microfluidic Chips
【Author】 LI Cheng-Wu, WANG Yong-Ning, GAO Yun-Hua(Technical Institute of Physics and Chemistry,Chinese Academy of Sciences, Beijing 100101, China; Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China)
【机构】 中国科学院理化技术研究所；
【摘要】 研究了以ITO膜为掩膜的玻璃微芯片的制作方法和玻璃-玻璃键合技术,并详细讨论了腐蚀条件对掩膜的性能、玻璃的蚀刻速率和微通道表面形貌的影响.总结出了该制作方法与传统玻璃芯片的制作方法相比具有的特点和优势.开发出了一种成本低且简易的玻璃芯片制作方法.
【基金】 国家“八六三”计划项目(批准号:2001AA630503);中国科学院“百人计划”资助.
- 【会议录名称】 第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集
- 【会议名称】第二届全国微全分析系统学术会议
- 【会议时间】2004-04
- 【会议地点】中国浙江
- 【分类号】O652.2
- 【主办单位】中国化学会、国家自然科学基金委员会化学部