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微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑
【机构】 清华大学精密仪器与机械学系；
【摘要】 本文以梳齿式微机械加速度计为例,概括性地阐述了电容式微加速度计敏感表头的设计思路及方法,提出系统设计的思想,归纳了结构设计中的主要制约因素,并分析了现有技术条件下电容式微机械加速度计的性能潜力。
- 【会议录名称】 2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集
- 【会议名称】2003年惯性仪表与元件学术交流会
- 【会议时间】2003-08
- 【会议地点】中国辽宁丹东
- 【分类号】V241.5
- 【主办单位】中国惯性技术学会惯性仪表与元件专业委员会、中国宇航学会飞行器惯性器件专业委员会