节点文献
几种微机电器件的研究与应用
【机构】 中国工程物理研究院电子工程研究所；
【摘要】 本文结合应用实例,介绍了硅微加速度计、加速度开关、陀螺等惯性传感器,微电磁马达、压电步进电机、齿轮系等微执行器的基本原理、制造方法和研究现状。
- 【会议录名称】 中国惯性技术学会光电技术专业委员会第五次学术交流会暨重庆惯性技术学会第九次学术交流会论文集
- 【会议名称】中国惯性技术学会光电技术专业委员会第五次学术交流会暨重庆惯性技术学会第九次学术交流会
- 【会议时间】2002-11
- 【会议地点】中国深圳
- 【分类号】V241.5
- 【主办单位】中国惯性技术学会光电技术专业委员会、重庆惯性技术学会