低数值孔径振幅光子筛的设计和制作

【作者】 程冠晓； 邢廷文； 林妩媚； 周金梅； 邱传凯； 廖志杰； 马建玲；

【机构】 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室； 泰山学院物理与电子科学系；

【摘要】 在软X射线、极紫外线光谱区,由于所有的固体材料的强烈吸收性,传统的折射透镜不能使用。菲涅尔波带片(FZP)可以用于软X射线、极紫外线的聚焦和成像。用光子筛(PS)代替FZP对软X 射线聚焦和成像,能够降低对光刻技术制作工艺的要求,得到更高的分辨率。PS是在菲涅耳波带环上制作的适当分布的具有不同半径的透光微孔阵列的衍射光学元件(DOE),它可以抑制光轴方向的高阶衍射和横向的旁瓣效应,改善成像的对比度和空间分辨率。PS技术的进展,能为X射线诊断技术、光子晶体器件和分子电子器件等纳电子器件的研究提供优质的技术服务。参照超大规模集成电路(VLSI) 制作工艺,可以把PS器件蚀刻在集成电路基片上,构成微型光机电集成系统(MOEMS),有效提高器件效能,降低成本,应用市场潜力很大。更多还原