基于MOEMS的微光学自适应微镜的研究

【作者】 吕赛君； 白剑； 侯西云； 杨国光；

【机构】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室；

【摘要】 微变形镜以其体积小,成本低,能耗低,响应快及集成度高等传统变形镜不具备的特点,已成为变形镜发展的主流方向。当前国内外发展的微变形镜主要有微机械薄膜变形镜、表面微机械变形镜、液晶器件和可调焦变形镜。前三种微变形镜虽然响应速度快,但驱动电压仍高达几十伏甚至上百伏,而且结构复杂,制作工艺要求高。可调焦的变形镜基于“双金属效应”,利用热应力改变镜面曲率,从而形成变焦。它具有驱动电压低和驱动力较大的优点,而且制作简单。这对于自适应微变形镜的研究具有非常重要的意义。更多还原