超短脉冲激光微细加工中临界脉冲宽度的实验研究

【作者】 赵友博； 杨建军； 王明伟； 朱晓农；

【机构】 南开大学现代光学研究所光电信息技术科学教育部重点实验室；

【摘要】 <正>与纳秒或更长脉冲相比,皮秒或飞秒量级的激光脉冲用于材料加工有诸多的优势,如热影响区小, 加工精度高,适用的材料范围广泛等。从物理机理上来说,一般认为前者主要通过材料的热融、沸腾的过程使材料获得去除,而后者可实现材料的直接气化、微爆炸等非热(冷)加工过程。那么,对于给定的激光通量,这两种不同的加工区域之间是否存在依赖于脉冲宽度的明确界线,即临界脉冲宽度,以及如何确定临界脉宽将是一个非常有意义的问题,它将为人们有效掌握和控制激光微加工过程提供重要依据。更多还原