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近红外32通道双腔集成滤光片的技术制备研究
【作者】 焦宏飞； 吴永刚； 王少伟； 曹鸿； 张莉； 付联效；
【机构】 同济大学精密光学工程技术研究所； 中科院上海技术物理研究所；
【摘要】 传感器在环境监测中有广泛的应用,而集成窄带通滤光片是光谱特征气体传感器中核心的元件之一,它克服了传统分光元件不能同时获取各个通道光谱信息的缺点,具有广阔的实用价值和科研价值。以往所制作的都是单腔结构的滤光片,这种结构虽然制作简单,窄带透射峰容易出现,但是透射峰的矩形性不理想,采用双腔结构可以改善窄带透射峰的矩形性,且可以克服通道集成度不高的缺点。
- 【会议录名称】 中国光学学会2006年学术大会论文摘要集
- 【会议名称】中国光学学会2006年学术大会
- 【会议时间】2006-09
- 【会议地点】中国广东广州
- 【分类号】TP212.14
- 【主办单位】中国光学学会