光学元件损伤在线检测的实验研究

【作者】 解亚平； 孙志红； 成泽； 彭志涛； 景峰；

【机构】 华中科技大学物理系； 中国工程物理研究院激光聚变中心；

【摘要】 <正>在高功率固体激光装置中,强激光由于非线性效应易产生自聚焦现象。自聚焦导致光束最终形成高强度细丝,从而导致光学元件表面膜层的损坏和内部丝状裂纹的形成。为了防止真空爆炸产生危害, 保证工作人员的安全,降低由于损伤点衍射造成的激光器性能的退化以及元件损伤对光束质量的影响, 对光学元件的损伤必须予以及时有效的在线检测,虽然在线检测主要使用暗场成像技术,但在在线检测更多还原