硅基集成光电子器件的新进展(特邀)

【作者】 周治平； 郜定山； 汪毅； 陈金林； 冯俊波；

【机构】 武汉光电国家实验室(筹)华中科技大学；

【摘要】 硅材料在通讯波段是透明的,并且具有高的折射率,能够制作出高折射率差的纳米光学结构。此外,由于硅基光子学技术与CMOS工艺完全兼容,使得硅基光子器件与微电子电路在同一块硅基片上的单片集成成为可能。硅基电子器件的微纳化和集成化在上个世纪引发了一场微电子革命,同样,硅基光子器件的微纳集成,将会导致一次意义不亚于微电子革命的微光电子革命。本文将以武汉光电国家实验室(筹)硅基光子学研究小组的工作为例来描述硅基集成光电子器件的最新进展。更多还原