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酸增殖剂研究进展

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【作者】 王文君； 张改莲； 王力元； 余尚先；

【机构】 北京师范大学化学系；

【摘要】 本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理。对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍。并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍。

【关键词】 化学增幅抗蚀剂； 酸增殖剂； 光致抗蚀剂； 感度；
  • 【会议录名称】 中国感光学会第六届青年学术交流会论文集
  • 【会议名称】中国感光学会第六届青年学术交流会
  • 【会议时间】2002-12
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】TQ572.42
  • 【主办单位】中国感光学会
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