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等离子复合处理技术制备光催化性能TiO2薄膜
Studies on preparation of photo-catalysis TiO2 thin films by a combined plasma surface treatment
【Author】 WANG He-feng~1 LI Xiu-yan~1 YANG Cheng-quan~2 TANG Bin~(1,*) (1.Research Institute of Surface Engineering,Taiyuan University of Technology,Taiyuan 030024)(2.School of Physics and Electronic Science,Shanxi Datong University,Datong 037009)
【机构】 太原理工大学表面工程研究所； 山西大同大学物理与电子科学学院；
【摘要】 利用离子渗镀和真空热氧化复合处理技术,在不锈钢表面制备成分结构可控的TiO2薄膜。借助图像分析仪、辉光放电光谱分析仪（GDOES）和X射线衍射仪对薄膜进行表征与分析。以三苯酚废水为对象进行了光催化降解试验,对比研究了不锈钢基材TiO2薄膜与商品TiO2粉末的光催化活性。结果表明:在400-600℃工艺温度范围,不锈钢表面均形成了致密、均匀的锐钛矿型TiO2薄膜,且Ti、O元素呈梯度分布;TiO2薄膜具有较高的光催化活性,3h内降解率达74.5%。
【Abstract】 TiO2 thin films with an excellent bonding strength have been fabricated by a plasma surface alloying and thermal oxidation duplex processing.TiO2 films with a controllable elements distribution and structure can be form on the stainless steel surface.With metalloscope,glow discharge spectrometer （GDOES）and X-ray diffraction,the films were characterized and analyzed.Phenol wastewater was used to character the photo-catalytic activity of the films,and the photo-catalytic activity of the TiO2 films and commodity TiO2 powder were compared.The result shows that the dense and uniform anatase TiO2 films were formed on stainless steel base at the heat treatment temperature 400 to 600℃.Both Ti and O elements in the TiO2 films show gradient distribution.The TiO2 films,with a higher photo-catalytic activity than that of commodity TiO2 powder,the degradation rate of phenol was about 73.5% in 3 hours.
- 【会议录名称】 2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集
- 【会议名称】2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会
- 【会议时间】2008-09
- 【会议地点】中国黑龙江哈尔滨
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、中国机械工程学会焊接分会高能束焊接专业委员会、北京电机工程学会加速器专业委员会