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100型MEVVA源离子注入机
【机构】 射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京师范大学核科学与技术学院(低能核物理研究所)；
【摘要】 提高金属蒸汽真空弧(Metal vapor VaCUUm arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。为此设计研制了采用高占空比、大引出面积、凸形高透过率引出电极等技术的100型MEVVA源注入机。本文介绍了100型MEVVA源注入机的靶室结构和靶盘分布,100型MEVVA离子源的结构特点,测试了100型MEVVA源的主要参数,通过靶盘公转自转、0定位自转与45定位自转的复合注入,得到了相当均匀的大面积注入效果。从而为实现工业规模的金属离子注入提供了注入平台。
【基金】 国家“八六三”计划项目(AA338020)
- 【会议录名称】 2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集
- 【会议名称】2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会
- 【会议时间】2008-09
- 【会议地点】中国黑龙江哈尔滨
- 【分类号】TL503.3
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、中国机械工程学会焊接分会高能束焊接专业委员会、北京电机工程学会加速器专业委员会