离子束辅助沉积TiCN复合结构多功能膜的研究

【作者】 金杰； 徐志潜； 过骐千； 王锦辉； 明建川； 李刘合；

【机构】 北京机械工业自动化研究所； 北京航空航天大学 机械自动化学院；

【摘要】 利用离子束辅助沉积设备,通过特殊的工艺在45号钢和硅片上生长出具有不同结构的复合多功能TiCN膜层。通过冷场发射扫描电镜,观察到膜层呈多层次晶态和非晶态复合结构;用划痕仪检测在膜层上划过的划痕十分平滑,可见该晶态和非晶态膜层与基底具有良好的结合力;用显微硬度计检测膜层的表面硬度,发现不同结构和不同成份的组合对硬度影响很大;在摩擦磨损试验机上进行干摩擦试验,具有较低的摩擦系数。更多还原

【Abstract】 The multifunctional TiCN film was deposited on 45# steel and Si substrates with ion beam assisted deposition and studied with SEM. Micro hardness and WS-88 tribometer Pin-on-disk friction machine ,the adhesion was tested with WS-88 tester, the result expresses that the structure has great influence on the film .The film was formed with multilayer .crystal and uncrystal. The experimentation printed that the film has good adhesion with substrate and low friction coefficient.更多还原