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用磁控溅射法制备Nb-NbN复合膜来改善射频超导加速器铌膜超导性能的研究
【作者】 李欣； 陈强； 辛天牧； 廖成； 郝建奎； 焦飞；
【机构】 北京航空航天大学理学院物理系； 北京大学重离子物理研究所；
【摘要】 随着射频超导谐振腔在粒子加速器中的广泛应用,提高铜铌溅射型薄膜超导腔的加速性能、改善铌(Nb)膜的Q-slope影响是重离子超导直线加速器的研究热点之一。本文用磁控溅射法制备了铌(Nb)膜和Nb-NbN复合膜。用X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)来比较两种薄膜的特点,发现Nb-NbN复合膜有效地阻止了铌膜的氧化,这可能成为提高薄膜超导腔加速性能的有效方法。
- 【会议录名称】 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
- 【会议时间】2006-10
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TL53
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、粒子加速器学会高压专业组、北京电机工程学会加速器专业委员会