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离子注入非线性和激光晶体波导的研究进展
【机构】 山东大学物理与微电子学院；
【摘要】 作为一种有效的材料表面改性技术,离子注入可以用来改变许多光学材料表面的折射率,从而形成光波导结构。这种折射率的改变与材料本身有密切关系,同时又依赖于注入离子的种类、能量和剂量。本文简要的综述了用离子注入技术在非线性和激光晶体中实现光波导制备的研究进展,并对该领域的研究前景进行了展望。
- 【会议录名称】 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
- 【会议时间】2006-10
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TG174
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、粒子加速器学会高压专业组、北京电机工程学会加速器专业委员会