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双空心阴极金属离子源DUHOCAMIS
【机构】 北京大学重离子物理研究所; 德国重离子研究所(GSI);
【摘要】 <正>产生具有良好品质并可方便操纵的强流金属离子束是金属离子束加速与金属离子束注入应用的基础。金属离子束注入除了在离子束冶金学、离子束合成与改性工艺的研究与应用中有着重要作用;近些年来研究利用过渡金属和稀土离子注入半导体和绝缘体材料进行纳米团簇加工,发展稀磁半导体(DMS)、电光器件(EL)及巨磁阻(GMR)等新技术越来越有兴趣。由于这种加
- 【会议录名称】 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
- 【会议时间】2006-10
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TL629.1
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、中国电子学会焊接专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、粒子加速器学会高压专业组、北京电机工程学会加速器专业委员会