节点文献
辉光离子轰击对镍钛镀层中Ti原子的定向扩散作用
【机构】 中科院电子所微波器件中心； 清华大学机械工程系； 太原理工大学材料科学与工程学院；
【摘要】 在采用辉光离子轰击对复合电镀镍钛Si3N4陶瓷进行扩散热处理时,发现辉光离子轰击热扩散可使镍钛层中的Ti原子向Si3N4陶瓷的界面作定向扩散,并在陶瓷界面处产生化合反应。本文利用扫描电镜、能谱仪以及X衍射分析仪等手段,对上述现象作了较全面的表征和分析:在此基础上,利用非平衡空位扩散原理解释了形成上述现象的原因。
【基金】 国家自然科学基金资助项目(59175211)
- 【会议录名称】 2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议
- 【会议时间】2004-08
- 【会议地点】中国乌鲁木齐
- 【分类号】TQ153
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、中国电子学会焊接专业委员会、北京电机工程学会加速器专业委员会