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CNx/TiN多层复合膜的摩擦磨损特性研究
【作者】 刘传胜； 范湘军； 曾昭元； 吴大维； 叶明生； 高鹏； 彭友贵；
【机构】 武汉大学物理系加速器实验室；
【摘要】 利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢(HSS)衬底上沉积CNx/TiN多层复合膜,涂层的硬度超过50 GPa。销-盘式摩擦试验研究了涂层的滑动摩擦性能,观察并分析了薄膜的磨损模式。实验表明交替涂层在高速和大载荷的条件下有很好的抗磨损性能。
- 【会议录名称】 ’2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】’2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议
- 【会议时间】2001-11
- 【会议地点】中国深圳
- 【分类号】TG174.4
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、中国电子学会焊接专业委员会、北京电机工程学会加速器专业委员会