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磁过滤等离子体沉积和注入技术
【机构】 北京师范大学低能核物理研究所；
【摘要】 <正> 利用阴极真空弧放电技术,能够产生高密度的金属等离子体,经过90度的磁过滤器的金属等离子体,可以除去其中的大颗粒微粒,去掉大颗粒微粒的金属等离子体,是制备高质量的、致密的各种薄膜的一种新技术,利用该技术制备的薄膜具有非常广泛的应用。本文首先介绍了阴极真空弧放电技术的应用,然后介绍了一台磁过滤等离子体沉积和注入装置以及它的应用。
- 【会议录名称】 ’2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
- 【会议名称】’2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议
- 【会议时间】2001-11
- 【会议地点】中国深圳
- 【分类号】O539
- 【主办单位】中国电工技术学会电子束离子束专业委员会、粒子加速器学会离子源专业组、中国电子学会焊接专业委员会、北京电机工程学会加速器专业委员会