Si掺杂对DLC薄膜结构和性能的影响

【作者】 陈小锰； 徐军； 邓新绿； 朴勇； 高鹏； 董闯；

【机构】 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室；

【摘要】 <正>类金刚石(diamond-like carbon)膜是含有sp3键的非晶碳膜,具有许多与金刚石膜类似的优点,如高硬度、低摩擦系数、高耐磨性、高电阻率、良好的化学稳定性和抗腐蚀能力以及红外透光性能,在机械、电子、光学、声学、计算机等领域具有广泛的应用前景。近年来,向DLC膜中添加其它元素(硅、氮更多还原