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氧分压对TFA-MOD方法制备的YBCO薄膜的影响
【机构】 电子科技大学微电子与固体电子学院；
【摘要】 <正>本文采用TFA-MOD方法在LaAlO3(100)单晶基片上制备了YBCO超导薄膜,研究了不同的氧分压对YBCO结构和性能的影响,发现薄膜结构与性能对氧分压非常敏感。虽然XRD分析表明高温热处理温度为850℃时,不同氧分压下制得的YBCO薄膜都具有c-轴外延取向,但YBCO(005)的ω扫描表明氧分压为800ppm、1000ppm、1200ppm的膜半高宽分别为0.335°、0.297°和0.379°。SEM分析表明氧分压为1000ppm时,YBCO表面平整、光滑,无针状晶粒生长,且Jc值较高,可达3.1MA/cm2。
- 【会议录名称】 2004年中国材料研讨会论文摘要集
- 【会议名称】2004年中国材料研讨会
- 【会议时间】2004-11
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TM26
- 【主办单位】中国材料研究学会