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燃烧化学沉积纳米陶瓷薄膜的工艺条件分析
【机构】 中国矿业大学北京校区机电工程系； 中国矿业大学北京校区化学与环境工程学院；
【摘要】 本文采用了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法——燃烧化学沉积法。其特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体。初始液体在火焰中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基体上沉积出纳米陶瓷薄膜。本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例,分析了工艺条件对制备纳米薄膜的影响。
- 【会议录名称】 2002年材料科学与工程新进展（上）——2002年中国材料研讨会论文集
- 【会议名称】2002年中国材料研讨会
- 【会议时间】2002-10
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国材料研究学会