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脉冲激光烧蚀法淀积非晶硅薄膜的实验研究
【作者】 白婷； 刘晶儒； 姚东升； 韦成华； 王丽戈； 袁孝；
【机构】 西北核技术研究所；
【摘要】 本文详细介绍了脉冲激光烧蚀法淀积非晶硅薄膜的实验技术,系统研究了主要工艺参数对薄膜制备及性能的影响,并由此得到了该种工艺制备α-Si薄膜的最佳成膜条件。通过激光拉曼散射、X射线衍射以及光谱计算等对薄膜性能的分析和测试显示,我们利用脉冲激光烧蚀淀积法制备的α-Si薄膜的主要技术指标已经达到了国内同类研究水平。
【基金】 惯性约束聚变青年科学基金。
- 【会议录名称】 2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集
- 【会议名称】2000年中国材料研讨会
- 【会议时间】2000
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国材料研究学会