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φ40mm双面YBCO高温超导薄膜均匀性研究
【机构】 电子科技大学信息材料工程学院；
【摘要】 本文采用单靶倒筒式直流溅射(ICS),辐射方式加热基片,旋转基片在基片两面同时溅射沉积YBCO高温超导双面薄膜。通过改进加热器,在该系统中可制备φ450mm的双面YBCO薄膜。我们选择了不同的基片运动方式,对薄膜沉积进行了研究,发现基片采取双轴运动方式时,沉积的薄膜厚度均匀性以及超导转变温度的均匀性,较单轴转动的沉积方式有很大提高。
- 【会议录名称】 2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集
- 【会议名称】2000年中国材料研讨会
- 【会议时间】2000
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国材料研究学会