节点文献
金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅰ)——气敏薄膜厚度效应的实验规律
Thickness effect of gas sensing film of metal oxide (Ⅰ)——Experimental rule of thickness effect of gas sensing film
【Author】 LI Yu-bing, LIU Wen-li. GAO Jian-hua, LI Lei. QIU Nan-wan (Dept. of Maths and Physics, Shangdong Univ., Ji’nan 250061, China )
【机构】 山东大学数理系；
【摘要】 介绍了N型金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律.给出了响应时间和恢复时间随膜厚及气体浓度变化的规律;指出了气敏薄膜存在最佳灵敏度的膜厚和最佳晶粒尺寸的事实;给出了低真空退火后气敏薄膜的电导激活能随膜厚变化的实验曲线.
【Abstract】 The experimental rules of thickness effect on N type metal oxide gas sensing thin films are presented. The rule of response time and recovery time versus film thicknes and gas concentraction was given, the fact of optimum thickness and optimum grain size for the films and the experimental curves versus of gas sening thin films after vacum sintering are provided.
【关键词】 气敏器件；
薄膜；
厚度；
金属氧化物；
响应；
晶粒尺寸；
【Key words】 gas sensitive devices； thin films； thickness； metal oxide； responses； grain size；
【Key words】 gas sensitive devices； thin films； thickness； metal oxide； responses； grain size；
- 【会议录名称】 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集
- 【会议名称】第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会
- 【会议时间】2000-12
- 【会议地点】中国郑州
- 【分类号】TN304.21
- 【主办单位】中国电子学会敏感技术分会