纳米半导体电容型CO₂气体敏感元件研制

【作者】 廖波； 张捷； 韦钦；

【机构】 北京理工大学电子工程系； 国际材料物理中心；

【摘要】 本文采用共沉淀与机械物理固相效应相结合的方法,经过电价掺杂半导化工艺制备了高纯纳米n型BaTiO₃,以此半导化粉体为原料,进行异质p型CuO半导化粉体掺杂,烧渗导电银浆,研制了一种新型纳米CuO-BaTiO₃半导体电容型CO₂气敏元件。经CO₂气敏特性测试动态实验装置,考察了该元件对CO₂气体的敏感性能。实验结果表明,所制元件的电容性质在400-750K温度范围内,对CO₂气体均呈现一定的敏感特性,属于电容型气敏元件。该元件可测CO₂气体浓度范围广（0％～95％）,低浓度（0—5％）范围内,浓度与电容变化呈线性关系,利于直接标定,是一种很有发展前途的新型气敏元件。更多还原