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基于ZnO/SiO2/Si结构的SAW射频滤波器研究
Study on ZnO/SiO2/Si Based SAW RF Filter
【Author】 Yang Lei Ren Tian-Ling Liu Li-Tian (Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing, 100084, P.R.China)
【机构】 清华大学微电子研究所；
【摘要】 ZnO/SiO2/Si结构的SAW滤波器因其能够和其它电路集成而在RF领域受到越来越多的关注。本文介绍了该结构的工作原理,给出了在设计过程中的衬底参数选择,并对叉指结构进行了设计,最后用Matlab中的SIMULINK工具对镜像阻抗连接结构进行了特性模拟,并得到了其频响曲线。
【Abstract】 Using ZnO/SiO2/Si layered structure, the monolithic integration of SAW device with electronic circuit can be realized. Some principles of designing the ZnO/SiO2/Si and IDT structures are presented in this paper. Using SIMULINK, the image-impedance connection structure is simulated, then its frequency response is given.
【关键词】 ZnO/SiO2/Si结构；
声表面波滤波器；
射频电路；
【Key words】 ZnO/SiO2/Si layered structure； image impedance connection structure； IDT；
【Key words】 ZnO/SiO2/Si layered structure； image impedance connection structure； IDT；
【基金】 国家973;清华人学985课题资助
- 【会议录名称】 第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集
- 【会议名称】第一届全国纳米技术与应用学术会议
- 【会议时间】2000-11
- 【会议地点】中国厦门
- 【分类号】TN713
- 【主办单位】中国电子学会