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MEMS接触式开关的计算机模拟
【机构】 华东师范大学电子系；
【摘要】 本文给出了用简单的理论模型对高频MEMS接触式开关的悬梁弯曲和驱动电压的关系的分析,并介绍了利用有限元分析软件—ANSYS对其电学、力学及其耦合特性的计算机模拟的过程。
【基金】 国家九七三项目(G199033105);上海AM基金(98年度);高校博士专项基全(98年度);国家自然科学基金(#69876012)资助
- 【会议录名称】 第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集
- 【会议名称】第一届全国纳米技术与应用学术会议
- 【会议时间】2000-11
- 【会议地点】中国厦门
- 【分类号】TH703
- 【主办单位】中国电子学会