节点文献

一种微机械光开关理论分析

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 贾玉斌； 陈良惠； 李玉璋；

【机构】 中国科学院半导体研究所；

【摘要】 对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析,利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析;基于机械和电学特性导出了弯曲和电压的关系,并给出阈值电压的解析表式。

【关键词】 微机械(MEMS)； 光开关； 悬臂梁； 光波导； 阈值电压；
  • 【会议录名称】 第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集
  • 【会议名称】第一届全国纳米技术与应用学术会议
  • 【会议时间】2000-11
  • 【会议地点】中国厦门
  • 【分类号】TH703
  • 【主办单位】中国电子学会
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)