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50nm肖特基隧穿晶体管(SBTT)特性模拟

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【作者】 杜刚； 刘晓彦； 孙雷； 韩汝琦；

【机构】 北京大学微电子所；

【摘要】 本文利用自主开发的蒙特卡洛器件模拟软件,对沟长为50nm的肖特基隧穿晶体管(SBTT)的输出特性和转移特性进行了模拟,得到了明显的开关态电流比。并讨论了肖特基势垒高度和沟道区掺杂浓度对器件特性的影响。

【关键词】 50nm； 肖特基隧穿晶体管； 蒙特卡洛器件模拟；
  • 【会议录名称】 第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集
  • 【会议名称】第一届全国纳米技术与应用学术会议
  • 【会议时间】2000-11
  • 【会议地点】中国厦门
  • 【分类号】TN32
  • 【主办单位】中国电子学会
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