微机械加工硅电容式加速度传感器

【作者】 李跃进； 朱作云； 杨银堂； 马晓华； 陈锦杜；

【机构】 西安电子科技大学微电子研究所； 航天科技集团16所；

【摘要】 <正> 1 引言随着世界科学技术的发展,微型机电系统(MEMS)近几年在许多国家已有了较大的突破与发展,并已成功地应用于航空、航天、汽车、医学等诸多领域。作为MEMS的一个主要分支——微型惯性器件也在发达国家迅速发展起来,由微型硅陀螺和微型硅加速度计组成的微惯性组合(MIMU)也有望应用于航天、航空等军事领域。微型硅加速度计是一种新颖的加速度传感器,它采用硅单晶材料,结合微细加工工艺实现。微型硅加速度计具有结构简单,体积小,功耗低,适合大批量生产,价格低廉等特点,因而在卫星上微重力的测量、微型惯性测量组合、简控弹的制导系统、汽车的安全系统、倾角测量、冲撞力测量等领域有广泛的应用前景。更多还原