“无掩模”腐蚀技术与硅多层微机械结构

【作者】 沈绍群； 杨恒； 尹颢； 鲍敏杭；

【机构】 复旦大学电子工程系传感器研究室；

【摘要】 用传统的掩模腐蚀形成侧面为{111}面的台阶结构后再进行无掩模腐蚀时,台阶的上沿会出现快腐蚀速率的{311}面。利用无掩模腐蚀的这一特性提出了一种可以形成深的硅多层微机械结构的新技术,使各向异性腐蚀的体微机械加工技术的加工能力有一个较大的突破。利用该技术已实现了多种硅微机械结构和几种有多层结构的微压压力传感器。更多还原