抗高过载微差压传感器

【作者】 沈绍群； 王文襄； 鲍敏杭； 王麦广； 刘秀蛾；

【机构】 复旦大学电子工程系传感器研究室； 宝鸡秦岭晶体管厂；

【摘要】 在提高微差压传感器灵敏度的研究过程中,会遇到非线性和稳定性变差,过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效现象。本文提出应力匀散结构和两层岛的限位结构,利用有限元分析和近似解析分析,设计了新的双岛-梁-膜结构,成功地研制出抗高过载微差压传感器。样品灵敏度≥30mV/6V/0.3kPa,非线性NL≤±0.25%FS,迟滞≤0.13%FS,标准偏差≤0.08%,总精度为0.4%,过载能力≥140倍满量程。更多还原