低量程电容式力平衡加速度传感器

【作者】 陆德仁； 李宝清； 邹强； 尤绍麟；

【机构】 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室；

【摘要】 微机械电容式加速度传感器适合于在低量程发挥优越性。本文介绍一种三明治结构电容式加速度传感器和接口电路(加速度计)的工作原理、结构设计、接口电路框图、静电力和工作模式,作者提出了适合于特低量程的浅反馈或开环工作模式和采用具有1s精度的数显式光栅分度头作为±1gn内加速度的发生器对加速度计进行检测。最后介绍了对加速度计原形的静态特性的检测。检测结果证实电容式加速度计确实如理论分析预期的那样,能在满量程±1gn乃至小到±0.01gn的范围内工作,分别具有5V/gn、100V/gn的灵敏度和≤0.1%和≤0.5%的线性度。更多还原