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厚膜力学量传感器的发展及现状
【机构】 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室；
【摘要】 本文概述厚膜力学量传感器的原理、技术特点、国外的发展与现状。重点介绍了国内十多年来的厚膜力学量传感器的性能及应用,并探讨了与国外的差距、今后的发展趋势及前景。
- 【会议录名称】 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集
- 【会议名称】2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会
- 【会议时间】2000-07
- 【会议地点】中国哈尔滨
- 【分类号】TP212
- 【主办单位】中国电子学会敏感技术分会力敏专业委员会