【作者】 万永中； 刘志杰； 张卫； 王季陶；

【Author】 Yong-Zhong Wan Ji-Tao Wang Zhi-Jie Liu David Wei Zhang (Dep.of Electronic Engineering,Fudan University,Shanghai 200433)

【机构】 复旦大学电子工程系；

【摘要】 碳的平衡相图是人们所熟悉的,但它却不能解释在激活条件下低压气相生长金刚石薄膜的实验现象。本文介绍了非平衡热力学耦合模型,并从热力学角度解释了激活低压金刚石生长的现象。该模型用于激活低压金刚石的生长,可计算得到低压下生长金刚石的非平衡定态相图,与实验比较,符合良好。更多还原

【Abstract】 The equilibrium phase diagram is well-known,but it can’t explain the experimental observations of diamond deposition with simultaneous graphite etching.This paper introduces the current situation and development of empiric and calculated phase diagram in low pressure vapor-grown diamond.The non- equilibrium thermodynamic model may be useful not only for activated CVD diamond growth but also for the syntheses of some new materials （such as c-BN,β-C₃N₄,……）.更多还原