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非晶硅材料的ESR测试
【机构】 中国科学院生物物理所；
【摘要】 <正>实验证明具有四面体共价键结构的非晶半导体材料,如Ge、Si和SiC等都有ESR信号。而最有实际意义的却是非晶硅(a-si)材料的ESR谱。对于不同的a-si制备方法、沉积速度、衬底材料和衬底温度。其ESR谱的强度、线宽和饱和特性都有很大
- 【会议录名称】 第四届全国波谱学学术会议论文摘要集
- 【会议名称】第四届全国波谱学学术会议
- 【会议时间】1986-11
- 【会议地点】中国云南昆明
- 【分类号】TN304.12
- 【主办单位】中国物理学会波谱学专业委员会