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气相沉积制备硬质薄膜技术及其工业应用
【作者】 马胜利；
【机构】 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室；
【摘要】 本文对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)的优势、进展及其在工模具领域的应用。
- 【会议录名称】 2004’中国西安涂料涂装技术交流推广会论文集
- 【会议名称】2004’中国西安涂料涂装技术交流推广会
- 【会议时间】2004-09
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TG174
- 【主办单位】陕西省机械工程学会表面工程技术分会、西安热能动力学会、西部表面技术网