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磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试研究

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【作者】 韦习成李健袁成清

【机构】 武汉材料保护研究所

【摘要】 本文提出了一种TiN涂层界面结合强度测量TiN涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式,据此测量了不同基体表面粗糙度对TiN涂层界面结合强度的影响。结果显示其测量结果和大量研究成果及与其他测量方法具有可比性,证明提出的方法是可行的。

【关键词】 TiN结合强度赫兹接触
  • 【会议录名称】 ’99摩擦学表面工程学术会议论文集
  • 【会议名称】’99摩擦学表面工程学术会议
  • 【会议时间】1999-08
  • 【会议地点】中国湖北武汉
  • 【分类号】TG174.444
  • 【主办单位】中国机械工程学会摩擦学分会磨损及表面技术专业委员会、武汉材料保护研究所
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