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波谱仪无谱峰故障的维修
【机构】 中国兵器工业第五二研究所；
【摘要】 <正>本文针对 S360型 SEM 附带的 WDX-3PC 型 WDS 其谱图中无任何特征谱峰故障现象进行分析和讨论,并找出故障的成因。 1 故障确定及排除对与故障现象可能相关的 SEM 主机工作系统、 SEM 与 WDS 连接线路、WDS 信号显示系统、WDS 信号处理元件(硬件)和 WDS 操作与处理软件等仪器
- 【会议录名称】 2006年全国电子显微学会议论文集
- 【会议名称】2006年全国电子显微学会议
- 【会议时间】2006-08
- 【会议地点】中国辽宁沈阳
- 【分类号】TN16
- 【主办单位】中国电子显微镜学会