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薄膜的截面TEM样品制备
【机构】 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室；
【摘要】 <正>薄膜材料的厚度仅为微米量级或者更薄,对其微结构的研究十分困难,许多表征方法难以采用。透射电子显微分析(TEM)是薄膜材料微结构研究最重要的手段之一。尽管采用 TEM 平面样品研究薄膜的微结构在样品制备方面相对容易,但由于薄膜依附于基材生长,且通常具有择优取向和柱状晶生长等微结构特征,因而采用截面样品从薄膜生长的横断面进行观察和研究,可以得到更多的材料微结
【基金】 国家自然科学基金(No．50571062)．
- 【会议录名称】 2006年全国电子显微学会议论文集
- 【会议名称】2006年全国电子显微学会议
- 【会议时间】2006-08
- 【会议地点】中国辽宁沈阳
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国电子显微镜学会