用透表法研究硅化钯二极管SBD与EBIC法的比较

【作者】 胡问国； 肖玲； 林一平； 梁竹关； 李亚文； 李萍； 徐晓华； 王建； 周开邻； Rau E I；

【机构】 云南大学物理技术学院； 云南大学信息学院； 昆明物理研究所； 莫斯科大学；

【摘要】 <正>应用透表法研究硅化钯-P 型硅肖特基势垒二极管(SBD)比应用 EBIC 法研究它的 p-n 结特性,尤其结深时更有明显优势：样品不需要特殊制作；无损检测方法,容易操作和使用；获得的图像十分清晰。在研制和生产半导体材料、半导体器件、集成电路和真空纳米电子器件(VND)的时候,由于它们的尺寸很小,往往需要应用扫描电子显微镜(SEM)进更多还原