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透表面显微内窥半导体和集成电路的新方法

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【作者】 李亚文； 梁竹关； 肖玲； 李萍； 徐晓华； 王建； 周开邻； РАУЗ.И.； 胡问国；

【机构】 昆明物理研究所； 云南大学物理系；

【基金】 国家科学技术部和国家自然科学基金委员会资助研究项目
  • 【会议录名称】 第十一次全国电子显微学会议论文集
  • 【会议名称】第十一次全国电子显微学会议
  • 【会议时间】2000
  • 【会议地点】中国云南昆明
  • 【分类号】TN407
  • 【主办单位】中国电子显微镜学会
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