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利用CVD方法制备金刚石冷阴极的研究
Preparation of Diamond Cold-Cathode by CVD Technique
【作者】 元光； 金亿鑫； 金长春； 张宝林； 蒋红； 周天明； 宁永强； 荆海； 朱希玲； 顾长志； 孟强；
【Author】 G.Yuan Y.Jin C.Jin B.Zhang H.Jiang T.Zhou Y.Ning H.Jing X.Zhu(Changchun Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130021) C.Gu Q.Meng(State Key Laboratory for Superhard Materials,Institute of Atomic and Molecular Physics,Jilin University,Changchun 130023)
【机构】 中国科学院长春物理研究所； 吉林大学超硬材料国家重点实验室；
【摘要】 利用化学腐蚀方法制备硅微尖阵列,利用 MW-PCVD 工艺生长金刚石膜,利用扫描电镜 (SEM),X 射线衍射初步研究了金刚石膜的性质。表明微尖尖端具有成核优势,金刚石膜择优沿〈111〉方向生长。
【Abstract】 The tip arrays were fabricated by etching using non-preferential etching mixture solution,and diamond films were deposited on the tip arrays by MW-PCVD techniuqe.The diamond was preferentially grown on the top of tips,and diamond films with〈111〉orientation were only formed.
- 【会议录名称】 1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集
- 【会议名称】1996年中国青年学者物理学讨论会
- 【会议时间】1996-06
- 【会议地点】中国安徽合肥
- 【分类号】O484.1
- 【主办单位】中国科学院、国家自然科学基金委员会